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用拋光液的超精密拋光技術(shù)作為制造業(yè)發(fā)展的標(biāo)志之一，已深入到了航空航天、軍事、集成電路、民用設(shè)備等諸多領(lǐng)域。但目前國(guó)內(nèi)發(fā)展水平仍處于較低階段，對(duì)拋光原理了解不夠深入，加工過(guò)程也過(guò)多的依賴(lài)經(jīng)驗(yàn)，效率低下。本文受“先進(jìn)制造技術(shù)與裝備”東莞市重中之重學(xué)科項(xiàng)目資助，運(yùn)用拋光液虛擬樣機(jī)這一近年來(lái)得到迅速發(fā)展和廣泛運(yùn)用的先進(jìn)制造技術(shù)對(duì)超精密雙面拋光機(jī)的機(jī)械去除作用進(jìn)行了深入分析。重點(diǎn)研究了拋光工藝參數(shù)、加工工件的運(yùn)動(dòng)特性以及拋光結(jié)果三者間的關(guān)系。
主要研究?jī)?nèi)容如下：
針對(duì)化學(xué)機(jī)械拋光的影響因素，和雙面拋光機(jī)的結(jié)構(gòu)功能特點(diǎn)，在理論分析的基礎(chǔ)上，采用三維實(shí)體建模軟件SolidWorks與動(dòng)力學(xué)分析軟件ADAMS聯(lián)合建模，定義了拋光機(jī)構(gòu)的虛擬樣機(jī)。
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